基于特征识别的晶圆精确找正方法

郑晋, 颜嘉杰, 王庆霞, 周虎, 黄顺舟

doi:10.19886/j.cnki.dhdz.2024.0200

东华大学学报（自然科学版） ›› 2025, Vol. 51 ›› Issue (02) : 198 -205. DOI: 10.19886/j.cnki.dhdz.2024.0200

基于特征识别的晶圆精确找正方法

郑晋, 颜嘉杰, 王庆霞, 周虎, 黄顺舟

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摘要

为提高晶圆划片的找正精度和实现不同类型晶圆划片找正的通用性，提出一种两步找正策略：基于Blob目标识别实现晶圆大视野图像特征标识的粗找正；结合广度优先搜索策略与带掩膜的边缘梯度模板匹配实现晶圆小视野图像特征标识的精找正。分析晶圆图像中能够反映晶圆姿态的粗-精找正特征标识，对晶圆大视野图像进行滤波与分块自适应阈值分割操作，建立筛选条件进行Blob识别，确保在精找正时不出现跨越划切道的现象；采用广度优先搜索策略控制相机轨迹寻找精找正特征标识，结合边缘梯度模板匹配算法并引入掩膜操作实现精找正特征标识的准确匹配，通过获取特征的重心坐标完成精找正。试验表明，通过该方法能够使晶圆的找正精度达到4μm,满足实际生产需求，并且对不同型号的晶圆具有一定的通用性。