飞秒激光制备高红外吸收SiC表面

郭明瑞; 赵智炎; 李健; 王燕; 李爱武; 徐颖; 于颜豪

doi:10.13413/j.cnki.jdxblxb.2024082

吉林大学学报(理学版) ›› 2025, Vol. 63 ›› Issue (06) : 1767 -1774. DOI: 10.13413/j.cnki.jdxblxb.2024082

飞秒激光制备高红外吸收SiC表面

郭明瑞, 赵智炎, 李健, 王燕, 李爱武, 徐颖, 于颜豪

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摘要

通过飞秒激光加工技术提高SiC在红外波段(尤其在10.3～12.6μm内)的光吸收率，以解决传统加工技术难以精细加工且吸收率低的问题.采用飞秒激光直写技术，通过改变激光加工的关键参数，在SiC表面生成特定微纳结构，并用扫描电子显微镜和Raman光谱仪对加工后的样品表面形貌和光学特性进行分析.结果表明：通过飞秒激光加工可有效调制SiC的表面形态，其红外吸收率显著提高，吸收效率最高可达92%;微纳结构可降低材料的反射率，并增强表面声子极化激元的激发，从而增强材料的红外光吸收能力.