感光层厚度对a-GaO_x基日盲紫外光电探测器的性能影响研究

摘要

为制备高性能日盲紫外光电探测器，采用低温金属有机物化学气相沉积方法制备了非晶氧化镓薄膜。通过对薄膜结构特性测试证明了薄膜的非晶特性，并且薄膜表面较为平坦，光学吸收边位于深紫外波段范围内。在此基础上，研制了日盲紫外光电探测器。随非晶氧化镓感光层厚度由33.2 nm增至133.6 nm,探测器的光电流和暗电流均提升了2个数量级，并且响应度和外量子效率均随感光层厚度提升而增大，探测器的响应度和外量子效率的最大值分别达到2.91 A/W和1 419.12%。探测器的厚度依赖特性可归因于界面高缺陷层、光吸收强度以及探测器的几何参数。此外，探测器展现出良好的波长选择性以及时间分辨响应稳定性。

关键词

非晶氧化镓 / 日盲紫外探测 / 厚度依赖特性 / 金属有机物化学气相沉积