工业硅中典型杂质元素的微观结构及分布规律研究

摘要

针对硅中硼等杂质在工业硅中对光伏发电效率的影响，文章通过扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）和电子探针显微分析（EPMA）系统分析精炼工业硅中杂质元素的赋存状态与微观结构分布规律。结果表明：B、P元素呈弥散状均匀分布；Al、Ca、Fe、Ti等金属杂质在晶界处显著富集，形成Al-Si-Fe、C-Al-Si-Ca等复合相；C元素以弥散分布为主，局部存在SiC富集相。

关键词

工业硅 / 杂质 / 微观结构 / 夹杂物 / 赋存状态