具有新型低损耗电极PIN光探测器的研究

位健; 牛慧娟; 陈庆涛; 李沅昊; 刘凯; 段晓峰; 黄永清

doi:10.19728/j.issn1672-6634.2024040016

聊城大学学报（自然科学版） ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (01) : 23 -33. DOI: 10.19728/j.issn1672-6634.2024040016

具有新型低损耗电极PIN光探测器的研究

位健, 牛慧娟, 陈庆涛, 李沅昊, 刘凯, 段晓峰, 黄永清

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摘要

基于一种具有微孔-槽结构的PIN光探测器结构，设计了一种低损耗电极并与之进行联合优化。该方法不但为制备低损耗电极提供了有效的解决方案，还进一步提升了光探测器的3 dB带宽。首先，通过优化电极衬底与厚度、引入绝缘层、增加金属材料以及在衬底中加入矩形槽结构等方式，设计了一款新型低损耗的光探测器电极，降传输损耗降至-1.15 dB。然后，将新型电极与PIN光探测器的等效电路进行联合设计优化。结果表明，与未使用该新型电极相比，光探测器的3 dB带宽提升了近32%。该新型电极的设计可以为不同结构及不同波段光探测器的性能改进提供参考。