基于动/静态力反馈的变振幅模糊控制超声波封接

摘要

为提高超声波封接界面熔合精度，提出了一种基于模糊控制的变振幅超声波封接方法。采用模糊控制算法分别设计了以动/静态力信号为输入、超声波振幅为输出的模糊控制器。对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微连接器与基底进行了封接试验，在封接初期，采用较大振幅加速接触表面的初始熔化并抑制了溢流缺陷，在封接中后期，以较小的振幅实现整个界面融合，以削弱超声空化效应。研究了界面的熔合状况，分析了振幅参数对气泡和溢流缺陷的影响。结果表明，基于静态力的模糊变振幅控制下的封接质量最好，气泡基本消除，溢流得到有效抑制，提高了熔合精度。

关键词

超声波封接 / 模糊控制 / 变振幅 / 动态力 / 静态力