基于ZrO2-SiO2和介孔SiO2凝胶膜制备可见光区双层减反射膜

汪文文; 肖志葳; 邓志文; 贾红宝; 王颖; 朱世海

doi:10.13988/j.ustl.2024.01.010

辽宁科技大学学报 ›› 2024, Vol. 47 ›› Issue (01) : 75 -80. DOI: 10.13988/j.ustl.2024.01.010

基于ZrO₂-SiO₂和介孔SiO₂凝胶膜制备可见光区双层减反射膜

汪文文, 肖志葳, 邓志文, 贾红宝, 王颖, 朱世海

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摘要

采用溶胶-凝胶法，以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料，在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO₂-SiO₂混合溶胶，Zr摩尔分数为20%～80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜，所得ZrO₂-SiO₂薄膜折射率在1.55～1.75之间可调。以有序介孔SiO₂薄膜为外层，选择与之匹配的ZrO₂-SiO₂薄膜为内层，构建λ/4～λ/2双层宽谱带减反射涂层。根据实际膜层的光学常数进行双层膜的优化设计，成功制备出在可见光区平均透射率达到99.17%的双层减反射薄膜。