高性能微纳光学玻璃元件模压涂层研究进展

摘要

精密模压成形技术具有低成本、高效率、近净成形与环境友好等优点，是复杂微小曲面或微纳光学玻璃元件高质高效加工前沿制造技术之一，但模压成形过程中玻璃黏着摩擦问题突出，导致玻璃透镜内部残余应力分布不均、光学透过性能下降以及模具服役寿命降低。先进功能涂层是抑制玻璃界面黏着摩擦的有效途径之一。本文综述了国内外模压涂层材料设计和结构调控的最新研究进展，重点论述了贵金属涂层、氮化物涂层和碳基涂层的微观组织结构、纳米力学、摩擦性能和高温防黏特性，指出当前模压涂层面临的性能短板、技术挑战和发展方向，为高性能模压涂层的成分与结构一体化设计和性能调控提供参考。

关键词

玻璃精密模压成形 / 模具 / 涂层 / 光学玻璃