碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势

罗求发; 陈杰铭; 程志豪; 陆静

doi:10.16339/j.cnki.hdxbzkb.2024180

湖南大学学报（自然科学版） ›› 2024, Vol. 51 ›› Issue (4) : 140 -152. DOI: 10.16339/j.cnki.hdxbzkb.2024180

碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势

罗求发, 陈杰铭, 程志豪, 陆静

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摘要

碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应，给现有的加工技术带来了巨大的挑战，高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点.本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展，对比各类磨抛技术的特点，指出碳化硅衬底磨抛加工技术面临的挑战和发展趋势，以期为大尺寸碳化硅衬底的高质量、高效率、低成本加工提供新的思路和方法 .