检测空气绝缘分解气体NO₂的Pd-MoSe₂传感器研究

摘要

针对目前NO₂传感器响应低、恢复速度慢、功耗高等问题，提出一种用于空气绝缘分解气体NO₂检测的金属钯Pd掺杂MoSe₂基气体传感方法。制备了本征MoSe₂气敏传感器与Pd-MoSe₂气敏传感器，并基于所搭建气敏响应测试平台研究其对NO₂的气敏响应特性，利用第一性原理计算NO₂在MoSe₂晶面上的吸附参数和吸附行为。经过气敏特性测试发现：室温工作时，Pd-MoSe₂气敏传感器对20μL/L NO₂的响应值为3.95,响应时间和恢复时间分别为38 s和46 s,可实现2μL/L NO₂的有效检测。理论计算结果表明：本征MoSe₂对NO₂的吸附为弱物理吸附，而Pd-MoSe₂表现为强化学吸附。研究结果可为高性能MoSe₂气体传感器的制备及其在NO₂在线监测中的应用提供借鉴。

关键词

空气绝缘分解气体 / 硒化钼 / NO₂ / 气敏传感器