平面二维位移传感器安装偏差影响研究

摘要

为提高平面二维位移传感器测量精度，深入研究了安装姿态对输出感应信号的影响。对二维位移传感器的安装偏差建立数学模型，揭示了因传感器测头安装偏差导致感应信号幅值不相等、相位非正交等测量误差的形成规律。电场仿真和样机实验表明：在动、定尺平行正对安装状态下，平面二维位移传感器在x方向周期内的测量误差约3.64μm,在y方向周期内的测量误差约3.48μm。当动尺分别在xz和yz平面偏摆、xy平面偏转时，x方向和y方向测量会引入空间1次和2次谐波误差。为平面二维位移传感器结构参数优化和安装误差修正提供了有力的理论支撑。

关键词

平面二维 / 安装偏差 / 位移测量 / 测量精度