智能微系统力学中的几个问题

摘要

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）和集成微电子机械系统（ＩＭＥＭＳ）近年来的蓬勃发展将为力学学科注入新的活力并为其提供难得的发展机遇。智能微系统力学是研究智能化微系统（包括ＭＥＭＳ、ＩＭＥＭＳ和ＭＯＥＭＳ等）中所涉及到的力学问题，所研究的尺度一般在μｍ／Ｓｕｂμｍ或以下，是微尺度力学和微电子学、物理学、自动控制、精密机械学、摩擦学等的交叉学科。从力学的角度综述了智能微系统力学的特点、所涉及的主要研究领域和目前的一些热门研究问题。

关键词

MEMS,智能微系统力学,力学测试,CAD,流动控制

基金资助

中国科学院“九五”重点项目,中科院力学所所长择优基金,LNM室主任MEMS启动项目