冷氢化外排硅粉中有效硅含量检测研究

摘要

多晶硅冷氢化工艺中会排出未完全反应的硅粉，为了对生产工艺作进一步优化提升有必要对其中的有效硅含量进行检测。以冷氢化外排硅粉为原料氯化氢气体为反应气，在管式炉内高温条件下与外排硅粉试样进行反应，反应结束后样品减少的质量即为外排硅粉中有效硅含量。对不同批次外排硅粉试样中有效硅进行检测，检测结果显示RSD<0.5%，加标回收率94.7%～103.2%。研究中的检测方法通过氯化氢气体与外排硅粉的直接反应，可以更为准确直观的检测出外排硅粉中有效硅含量。

关键词

外排硅粉 / 有效硅 / 管式炉 / 氯化氢