基于色散修正与全谱拟合的红外干涉测厚模型研究

摘要

本文首先针对SiC外延层红外反射干涉测厚问题，建立考虑折射率色散与偏振效应的干涉测厚模型；其次，基于Snell定律推导双光束干涉的几何光程差，结合Sellmeier折射率色散公式与Fresnel公式处理s/p偏振分量，构建反射率-波数关系及厚度反演模型；再次，通过波峰波谷间隔获取参数初值，经非线性最小二乘拟合优化参数，验证了一项Sellmeier色散模型的参数稳定性；最后，进一步分析了多光束干涉的影响，发现其仅改变谱线峰形与对比度，不影响极值位置，据此采用波峰波谷间隔反演厚度.数值实验表明，该模型可稳定表征反射光谱特性，实现SiC外延层厚度的有效反演.

关键词

多光束干涉 / Sellmeier方程 / Fresnel公式 / 非线性最小二乘拟合