基于自支撑多孔硅微腔的DNA光学检测

摘要

用电化学蚀刻在单晶硅表面制备了多孔硅微腔（PSM），并通过大电流脉冲分离制成了一种自支撑多孔硅微腔结构．将该结构用于8个碱基对的DNA片段检测，根据折射率变化引起透射角度谱的移动量检测与探针DNA分子发生偶联反应的目标DNA分子的不同浓度．目标DNA分子在0.1～1.0μmol/L的浓度区间，透射角度谱红移量随着目标DNA分子浓度的增加而增大，并且有较好的线性关系，检测限达0.037μmol/L．自支撑多孔硅微腔检测生物分子时表现出灵敏度高、响应时间快、免标记、成本低等优点，可应用于便携式光学传感器．

关键词

自支撑多孔硅微腔 / 透射角度谱 / DNA传感