大面积单激励器射频离子源等离子体均匀性分析

摘要

为了提高等离子体分布均匀度，基于有限元分析法与实验相结合的方法，从射频离子源驱动器尺寸和引出区尺寸2个方面对单驱动射频离子源放电室进行设计。模拟研究结果表明，电子均匀度的增长幅度随驱动器尺寸的大小变化比较缓慢。根据不同驱动器尺寸电子密度分布研究结果，在引出区尺寸为320 mm时，电子均匀度能够满足90%的要求。根据实验研究结果表明，在引出区尺寸为320 mm时电子分布均匀且均匀度>90%，并与模拟结果相吻合。因此，为使得等离子体分布均匀度能够达到要求，离子源放电室底部引出面附近引出区尺寸应该设计为320 mm。

关键词

射频离子源 / 驱动器尺寸 / 引出区尺寸 / 电子均匀度

基金资助

国家重大科技基础设施建设项目“聚变堆主机关键系统综合研究设施”（2018-000052-73-01-001228）; 江西省教育厅科学技术研究项目（GJJ210715）