含氟电子特气发展现状与展望

摘要

介绍“十四五”期间几种重要含氟电子特气（三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、六氟化硫、四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷）的产品现状、技术路线、应用领域及市场前景。展望“十五五”期间含氟电子特气的发展趋势，包括国产替代加速，技术创新推动高端化发展，下游需求持续增长，绿色化与可持续发展，行业整合与全球化布局。

关键词

“十四五” / 含氟电子特气 / 现状 / 应用领域 / 展望