磁控溅射制备MoON薄膜电极及其电化学储能性质

摘要

采用磁控溅射法制备了具有梯度氧含量的MoON薄膜材料，研究了制备过程中N₂/O₂分压对MoON薄膜微观结构、晶型、化学键合、导电性以及电化学储能性质的影响.结果表明，在优化氧含量下，当Ar/N₂/O₂的流量（sccm）比为240∶50∶10时，MoON薄膜电极材料展现出最优的电化学储能性质，在1 mol/L Na₂SO₄溶液中，其面积比电容从纯MoN薄膜电极的134 mF/cm²提升至211 mF/cm²，增加了57.5%，而且具有优异的循环稳定性，在充放电10000次之后电容量没有衰减.

关键词

MoON薄膜 / 磁控溅射 / 薄膜电极 / 电化学储能性质