退火气氛对BiFeO3薄膜电性能的影响

王国强; 刘红日

doi:10.19603/j.cnki.1000-1190.2011.03.011

华中师范大学学报（自然科学版） ›› 2011, Vol. 45 ›› Issue (03) : 396 -400. DOI: 10.19603/j.cnki.1000-1190.2011.03.011

退火气氛对BiFeO₃薄膜电性能的影响

王国强, 刘红日

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摘要

采用溶胶-凝胶法在氟掺杂SnO2/glass(FTO/glass)衬底上制备BiFeO3(BFO)薄膜,薄膜的退火气氛分别是空气、氧气、氮气,退火温度为500°C.XRD衍射图样表明BiFeO3薄膜结晶充分,没有杂相.剖面扫描电镜测试结果表明薄膜的厚度为600nm.铁电性测试表明在空气中退火的BiFeO3薄膜能够观察到饱和电滞回线,其剩余极化强度为53.9μC/cm2;在氧气和氮气气氛中退火的BiFeO3薄膜的剩余极化强度分别为53.6μC/cm2和39.2μC/cm2.在空气和氧气气氛中退火的BiFeO3薄膜,在相同的测试频率时表现出相近的介电常数.此外,在不同气氛中退火制备的BiFeO3薄膜具有不同的漏电流特性.