时间比值法测量水蒸气流导

摘要

目前很少有方法能够测量水蒸气通过小孔的流导.通过理论与实验相结合的方法分析了使用压升法测量水蒸气流导的可行性，该方法测量结果的误差随着进气量的减小而增加，这是因为水蒸气具有较强的吸附特性.为了准确得到水蒸气进气压力与流导之间的关系式，基于压升法提出了时间比值法.该方法通过测量压力变化的时间计算流导，有效地减小了水蒸气吸附作用对测量结果的影响.使用该方法搭建了一个可以提供流量为3.7×10^-9～1.5×10^-5 Pa·m³·s^-1的装置.流导测量值与理论值一致性较好.时间比值法的相对标准不确定度是3.3%.

关键词

水蒸气 / 流导 / 不确定度 / 测量