基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计

摘要

为了给光刻机运动台控制系统架构升级提供可靠方案,设计了基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统。采用FPGA内嵌Nios Ⅱ软核,通过Quartus Ⅱ软件中的Qsys和功能平台Nios ⅡSBT实现电机驱动控制系统硬件电路和软件程序设计。内核部分采用嵌入式多核CPU实现数据并行运算,以提升控制系统的数据处理能力。实验结果表明,该控制系统能够稳定控制电机运转达到预期的驱动效果,验证了该控制系统方案的可行性。

关键词

NiosⅡ软核 / 电机驱动 / 控制 / FPGA / 架构升级 / 光刻机

基金资助

国家自然科学基金(11574059); 广西自然科学基金(2018GXNSFAA050043); 国家科技重大专项(2017ZX02101007-003); 广西自动检测技术与仪器重点实验室基金(YQ16101)