电子束偏转扫描线圈的设计与仿真

魏红燕, 李少林, 张晨阳, 张康龙, 李伯林

doi:10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2022.06.009

桂林电子科技大学学报 ›› 2022, Vol. 42 ›› Issue (06) : 486 -492. DOI: 10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2022.06.009

电子束偏转扫描线圈的设计与仿真

魏红燕, 李少林, 张晨阳, 张康龙, 李伯林

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摘要

为解决电子束偏转磁场中的弱枕形畸变问题，基于余弦绕制法则，提出了改进的分布式等效余弦结构绕组。介绍了光栅畸变，采用COMSOL软件建立了分布式等效余弦结构绕组的几何模型和有限元分析模型，并对其进行数值模拟分析；分析了不同边张角的偏转磁场的分布，对比了不同半径的线圈改进前以及改进后的磁场分布，证实分布式等效余弦结构绕组的有效性，并最终确定了偏转扫描线圈的边张角和半径。