Al2O3-SiO2-ZrO2复合膜的热稳定性研究

石家庄铁道大学学报（自然科学版） ›› 2005, Vol. 0 ›› Issue (02) : 42 -44+68. DOI: 10.13319/j.cnki.sjztddxxbzrb.2005.02.011

Al₂O₃-SiO₂-ZrO₂复合膜的热稳定性研究

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主要探讨了引入SiO₂和ZrO₂对Al₂O₃薄膜热稳定性的影响,并采用DTA、XRD和SEM等分析方法对其进行了研究,结果表明,1000℃煅烧后的复合膜中,主晶相为γ-Al₂O₃和t-ZrO₂,SiO₂以无定形态存在,1200℃热处理后的复合膜中仍然没有发生γ-Al₂O₃向α-Al₂O₃的相变。

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田秀淑,任书霞,王黔平 Al₂O₃-SiO₂-ZrO₂复合膜的热稳定性研究[J]. 石家庄铁道大学学报（自然科学版）, 2005, 0(02): 42-44+68 DOI:10.13319/j.cnki.sjztddxxbzrb.2005.02.011

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