一种卧式侧装靶管旋转磁控溅射圆柱靶的开发

摘要

磁控溅射技术高效且稳定，在现代薄膜制备里占据着重要的地位。在众多磁控溅射技术的应用形式中，旋转磁控溅射圆柱靶凭借着高靶材利用率以及优异薄膜质量的优势，当之无愧地成为大面积功能薄膜生产的首选方案。文章介绍了一种新型卧式侧装靶管旋转磁控溅射圆柱靶的设计与开发过程，包括靶极总体结构设计、圆柱靶靶材材料的选取、传动密封结构设计、磁铁系统结构设计、电源引入系统的设计、冷却系统设计以及部件选型等内容，并在实际应用中展现了卓越的性能，实现了靶材利用率的显著提升与薄膜均匀度的显著改善且靶材更换简单方便，具有广阔的应用前景与显著的经济效益。

关键词

卧式侧装 / 靶管旋转 / 磁控溅射 / 圆柱靶 / 薄膜沉积